依據臭氧發生器的工作原理，其配套的輔助系統也就顯得尤為重要。輔機系統主要包括閉路冷卻系統、加氮系統、排出系統和雙向呼吸閥。

閉路冷卻系統。

    內循環的水帶走臭氧產生過程中多余的熱量，并將熱量帶到外部循環水中。

    它包括熱交換器，循環泵，膨脹罐，壓力開關等。

    臭氧發生器空氣源設計的冷卻水量為3-4m3/kgO3/h，氧型臭氧發生器設計冷卻水量為1.7-2m3/kgO3/h。

    因為臭氧機材料一般是SS316，所以內部循環水需要用除鹽水來冷卻，以緩解臭氧發生器的腐蝕。

    外循環水可以使用自來水，但其溫度一般≤28℃，因為水溫過高會降低臭氧發生器的工作效率，從而增加電耗。

2.加氮系統。

    含氮氣體時，臭氧發生器的工作效率和放電體壽命將得到提高，在不增加電力消耗的前提下，可提高臭氧產率。

    由于空源型和富氧源臭氧發生器的氣源本身含有氮，因此該系統只適合于液氧源臭氧發生器。

    該系統主要由空氣壓縮機、儲氣罐、空氣冷卻器(凍干機)、空氣干燥器(吸附干燥機)和過濾器組成，氮氣補充量按2-5%設計。

3.尾氣過濾器。

    余下的臭氧層向大氣釋放本身就是一個污染源，需要控制臭氧層排放濃度。

    即便是在合適的擴散體系下，從反應池排放的氣體也會含有更多的臭氧。

    本實用新型采用高溫加熱分解和填料催化分解兩種形式，可控制臭氧排放濃度小于0.08ppm。

    汽車尾氣清洗器要在室內設計，如果沒有進行室內設計，就需要安裝輕型結構的隔熱板房，房間高度不低于3米。

4.雙向呼吸閥。

    裝于臭氧催化氧化罐或氧化池的頂部，保持大氣壓力的平衡(罐體或池體是密封的)。